Xác định các thuộc tính plasma ion hóa yếu trong va chạm electron của phân tử khí TRIES và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Luận án, luận văn |
| Language: | Vietnamese |
| Published: |
2022
|
| Online Access: | https://hdl.handle.net/11742/74681 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
Add Tag | _version_ | 1820548866508849152 |
|---|---|
| author | Phan Thị Tươi |
| author_facet | Phan Thị Tươi |
| author_sort | Phan Thị Tươi |
| collection | DSpaceTVQH |
| format | Luận án, luận văn |
| id | oai:http:--thuvienso.quochoi.vn:11742-74681 |
| institution | Thư viện số |
| language | Vietnamese |
| publishDate | 2022 |
| record_format | dspace |
| spelling | oai:http:--thuvienso.quochoi.vn:11742-746812024-02-05T05:23:50Z Xác định các thuộc tính plasma ion hóa yếu trong va chạm electron của phân tử khí TRIES và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch Phan Thị Tươi 2022-05-10 2022-05-17 Luận án, luận văn 39679 https://hdl.handle.net/11742/74681 vi Trường Đại học sư phạm kỹ thuật Hưng Yên 1 tr. application/pdf application/pdf Thư viện Quốc hội |
| spellingShingle | Phan Thị Tươi Xác định các thuộc tính plasma ion hóa yếu trong va chạm electron của phân tử khí TRIES và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch |
| title | Xác định các thuộc tính plasma ion hóa yếu trong va chạm electron của phân tử khí TRIES và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch |
| title_full | Xác định các thuộc tính plasma ion hóa yếu trong va chạm electron của phân tử khí TRIES và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch |
| title_fullStr | Xác định các thuộc tính plasma ion hóa yếu trong va chạm electron của phân tử khí TRIES và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch |
| title_full_unstemmed | Xác định các thuộc tính plasma ion hóa yếu trong va chạm electron của phân tử khí TRIES và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch |
| title_short | Xác định các thuộc tính plasma ion hóa yếu trong va chạm electron của phân tử khí TRIES và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch |
| title_sort | xac dinh cac thuoc tinh plasma ion hoa yeu trong va cham electron cua phan tu khi tries va kha nang ung dung trong cong nghe che tao vi mach |
| url | https://hdl.handle.net/11742/74681 |
| work_keys_str_mv | AT phanthituoi xacđinhcacthuoctinhplasmaionhoayeutrongvachamelectroncuaphantukhitriesvakhanangungdungtrongcongnghechetaovimach |
Encyclopedia of electronics\