Xác định các thuộc tính plasma ion hóa yếu trong va chạm electron của phân tử khí TRIES và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch

Saved in:

Bibliographic Details
Main Author:	Phan Thị Tươi
Format:	Luận án, luận văn
Language:	Vietnamese
Published:	2022
Online Access:	https://hdl.handle.net/11742/74681
Tags:	Add Tag No Tags, Be the first to tag this record!

Internet

https://hdl.handle.net/11742/74681